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发明名称
摘要
申请公布号
JPS53166865(U)
申请公布日期
1978.12.27
申请号
JP19770043247U
申请日期
1977.04.06
申请人
发明人
分类号
H01L21/683;H01L21/304;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
主权项
地址
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