| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53149759(A) |
申请公布日期 |
1978.12.27 |
| 申请号 |
JP19780068976 |
申请日期 |
1978.06.09 |
| 申请人 |
OWENS ILLINOIS INC |
发明人 |
JIYATSUKU MIRUTON FUROORENSU;UIRIAMU AARU SUMISU |
| 分类号 |
C30B31/06;H01L21/22;H01L21/223 |
主分类号 |
C30B31/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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