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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5348073(B2) 申请公布日期 1978.12.26
申请号 JP19720099973 申请日期 1972.10.06
申请人 发明人
分类号 C30B25/02;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/74;H01L21/761 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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