发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53148992(A) 申请公布日期 1978.12.26
申请号 JP19770064406 申请日期 1977.05.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TERUI YASUAKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/316 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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