发明名称 STORING METHOD FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS53148977(A) 申请公布日期 1978.12.26
申请号 JP19770064300 申请日期 1977.05.31
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 AGATA YOSHIO
分类号 H01L29/73;H01L21/314;H01L21/331;H01L29/70 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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