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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53148389(A) 申请公布日期 1978.12.23
申请号 JP19770063656 申请日期 1977.05.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAMOTO SUMIO;SHIBAYAMA HIKOSUKE
分类号 H01L29/73;H01L21/316;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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