| 发明名称 |
PATTERN DEFECT DETECTING METHOD OF PHOTO RESIST FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53147466(A) |
申请公布日期 |
1978.12.22 |
| 申请号 |
JP19770062340 |
申请日期 |
1977.05.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NISHIOKA SUNAO;HATSUHARA TOSHIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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