发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53147485(A) 申请公布日期 1978.12.22
申请号 JP19770062332 申请日期 1977.05.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ANAMI KENJI;NAKANO TAKAO;TOMIZAWA OSAMU;NAKAYA MASAO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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