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发明名称 Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von Borphosphid auf einem Substrat
摘要
申请公布号 DE2728288(B1) 申请公布日期 1978.12.21
申请号 DE19772728288 申请日期 1977.06.23
申请人 TDK ELECTRONICS CO. LTD., TOKIO 发明人 NAGANO, KATSUTO, YOKOHAMA, KANAGAWA;IHAYA, KAZUHIKO, TOKIO;SASA, SYOZO, ICHIKAWA, CHIBA;NAKADA, TAKESHI, TOKIO
分类号 B01F17/28;C30B25/02;(IPC1-7):B01J17/32;B01J17/28 主分类号 B01F17/28
代理机构 代理人
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