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发明名称 LSI-Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE68929131(D1) 申请公布日期 2000.02.10
申请号 DE19896029131 申请日期 1989.04.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 MAEDA, TAKEO
分类号 H01L21/74;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/06;H01L21/82 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
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