发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION OF THE SAME
摘要
申请公布号 JPS53145583(A) 申请公布日期 1978.12.18
申请号 JP19770061425 申请日期 1977.05.25
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SEKO SUMUTO;TAKAHASHI JIYUNICHI
分类号 H01L21/322;H01L21/22;H01L29/74;H01L29/744 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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