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发明名称 MANUFACTURE OF MIS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53144281(A) 申请公布日期 1978.12.15
申请号 JP19770058699 申请日期 1977.05.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 UCHIDA KEN
分类号 H01L21/822;H01L21/302;H01L21/306;H01L27/04;H01L29/78 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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