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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53143176(A) 申请公布日期 1978.12.13
申请号 JP19770059142 申请日期 1977.05.20
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKATSUKA MASAHIKO
分类号 H01L29/73;H01L21/308;H01L21/322;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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