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发明名称 EPITAXIAL GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPS53143165(A) 申请公布日期 1978.12.13
申请号 JP19770058380 申请日期 1977.05.20
申请人 JAPAN RADIO CO LTD 发明人 KAGEYAMA NOBUO
分类号 H01L21/74;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/76 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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