发明名称 |
PRODUCTION OF FIELD EFFECT TRANSISTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS53143177(A) |
申请公布日期 |
1978.12.13 |
申请号 |
JP19770057723 |
申请日期 |
1977.05.20 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKAHASHI SUSUMU;IKEDA SEIJI;KODERA HIROSHI |
分类号 |
H01L29/80;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L29/80 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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