发明名称 PRODUCTION OF FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS53143177(A) 申请公布日期 1978.12.13
申请号 JP19770057723 申请日期 1977.05.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI SUSUMU;IKEDA SEIJI;KODERA HIROSHI
分类号 H01L29/80;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/812 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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