发明名称 |
INSB POLYCRYSTALLINE THIN FILM ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS53143167(A) |
申请公布日期 |
1978.12.13 |
申请号 |
JP19770057720 |
申请日期 |
1977.05.20 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKASHIMA MUNEYASU;SHIGETA JIYUNJI;KODERA NOBUO |
分类号 |
H01L29/43;H01L21/28;H01L21/31;H01L43/02;H01L43/04 |
主分类号 |
H01L29/43 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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