发明名称 INSB POLYCRYSTALLINE THIN FILM ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS53143167(A) 申请公布日期 1978.12.13
申请号 JP19770057720 申请日期 1977.05.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKASHIMA MUNEYASU;SHIGETA JIYUNJI;KODERA NOBUO
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L21/31;H01L43/02;H01L43/04 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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