发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 GB1536003(A) 申请公布日期 1978.12.13
申请号 GB19760050319 申请日期 1976.12.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/46 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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