发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
GB1536003(A) |
申请公布日期 |
1978.12.13 |
申请号 |
GB19760050319 |
申请日期 |
1976.12.02 |
申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
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分类号 |
H01L29/73;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/46 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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