发明名称 |
METODO E APARELHO PARA FORMAR UM FEIXE ELETRONICO DE TAMANHO VARIAVEL |
摘要 |
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申请公布号 |
BR7801031(A) |
申请公布日期 |
1978.12.12 |
申请号 |
BR19780001031 |
申请日期 |
1978.02.21 |
申请人 |
IBM CORP |
发明人 |
RYAN P;PFEIFFER H;WEBER E |
分类号 |
H01J37/147;H01J37/09;H01J37/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L27/00 |
主分类号 |
H01J37/147 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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