| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM TROCKNEN VON SUBSTRATEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT227885(T) |
申请公布日期 |
2002.11.15 |
| 申请号 |
AT19960929234T |
申请日期 |
1996.08.09 |
| 申请人 |
ICTOP ENTWICKLUNGS GMBH |
发明人 |
SCHELLENBERGER, WILHELM;HERRMANNSDOERFER, DIETER |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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