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发明名称 METHOD OF GROWING REDUCED PRESSURE GASEOUS PHASE
摘要
申请公布号 JPS53142173(A) 申请公布日期 1978.12.11
申请号 JP19770057427 申请日期 1977.05.18
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 ENDOU YOSHIHIDE
分类号 C30B25/10;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
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