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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号
JPS53142181(A)
申请公布日期
1978.12.11
申请号
JP19770056475
申请日期
1977.05.18
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
ABE TOSHIHIRO;NIWA KAZUO
分类号
H01L21/027;H01L21/302
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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