发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS53142181(A) 申请公布日期 1978.12.11
申请号 JP19770056475 申请日期 1977.05.18
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 ABE TOSHIHIRO;NIWA KAZUO
分类号 H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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