发明名称 CHARGE PARTICLE BEAM WORKING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53141996(A) 申请公布日期 1978.12.11
申请号 JP19770057391 申请日期 1977.05.18
申请人 OSAKA TRANSFORMER CO LTD 发明人 OKADA AKIYUKI
分类号 H01J37/30;B23K15/00;B23K15/06 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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