| 发明名称 |
ZINC OXIDE BASE CERAMICS FOR HIGH FREQUENCY SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53141317(A) |
申请公布日期 |
1978.12.09 |
| 申请号 |
JP19770056863 |
申请日期 |
1977.05.16 |
| 申请人 |
MURATA MANUFACTURING CO |
发明人 |
OGAWA TOSHIO;NISHIYAMA KOUJI;MASUO TASUKU |
| 分类号 |
C04B35/453;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/40;H01L41/18;H01L41/187 |
主分类号 |
C04B35/453 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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