发明名称 一种集成电路的电感
摘要 本发明提供一种集成电路的电感,其包含一基板、至少一N型量子深井、至少一P型量子井、至少一下信道、至少一第一金属线圈;其中,N型量子深井系位于该基板上方;P型量子井系位于该N型量子深井上方;下信道位于该P型量子井上方;第一金属线圈系位于该下信道上方,且该第一金属线圈可于邻近与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下信道连接。本发明的集成电路的电感具有较高的Q值,应用于0.25微米以下的线宽制程,此外,本发明技术提供的集成电路的电感更具有一N型量子深井,可有效延后自我共振频率使得该集成电路的电感具有较高频宽。
申请公布号 CN1635586A 申请公布日期 2005.07.06
申请号 CN200310122886.9 申请日期 2003.12.25
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 陈真
分类号 H01F17/00;H01L27/01;H01L27/00 主分类号 H01F17/00
代理机构 上海隆天新高专利商标代理有限公司 代理人 竺明;谢晋光
主权项 1.一种集成电路的电感,其包含:一基板;至少一N型量子深井,该N型量子深井系位于该基板上方;至少一P型量子井,该P型量子井系位于该N型量子深井上方;至少一下信道,其位于该P型量子井上方;以及至少一第一金属线圈,其系位于该下信道上方,且该第一金属线圈可于邻近与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下信道连接。
地址 201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号