发明名称 |
一种集成电路的电感 |
摘要 |
本发明提供一种集成电路的电感,其包含一基板、至少一N型量子深井、至少一P型量子井、至少一下信道、至少一第一金属线圈;其中,N型量子深井系位于该基板上方;P型量子井系位于该N型量子深井上方;下信道位于该P型量子井上方;第一金属线圈系位于该下信道上方,且该第一金属线圈可于邻近与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下信道连接。本发明的集成电路的电感具有较高的Q值,应用于0.25微米以下的线宽制程,此外,本发明技术提供的集成电路的电感更具有一N型量子深井,可有效延后自我共振频率使得该集成电路的电感具有较高频宽。 |
申请公布号 |
CN1635586A |
申请公布日期 |
2005.07.06 |
申请号 |
CN200310122886.9 |
申请日期 |
2003.12.25 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
陈真 |
分类号 |
H01F17/00;H01L27/01;H01L27/00 |
主分类号 |
H01F17/00 |
代理机构 |
上海隆天新高专利商标代理有限公司 |
代理人 |
竺明;谢晋光 |
主权项 |
1.一种集成电路的电感,其包含:一基板;至少一N型量子深井,该N型量子深井系位于该基板上方;至少一P型量子井,该P型量子井系位于该N型量子深井上方;至少一下信道,其位于该P型量子井上方;以及至少一第一金属线圈,其系位于该下信道上方,且该第一金属线圈可于邻近与数个连接孔连接,其中至少有一个连接孔的一端与该下信道连接。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 |