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发明名称
FIELD DISSOCIATION TYPE ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPS53138788(A)
申请公布日期
1978.12.04
申请号
JP19770053060
申请日期
1977.05.11
申请人
HITACHI LTD
发明人
TAGUCHI TADANORI;KAWABE USHIO;KANBARA HIDEKI;SHIKAMATA ICHIROU
分类号
H01J49/16
主分类号
H01J49/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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