发明名称
摘要
申请公布号 JPS5350391(Y2) 申请公布日期 1978.12.02
申请号 JP19770163406U 申请日期 1977.12.07
申请人 发明人
分类号 H01P1/00;G01K7/02;G01R21/02;G01R21/04;G12B1/00;H01L35/00;H01L35/32;(IPC1-7):H01L35/32 主分类号 H01P1/00
代理机构 代理人
主权项
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