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发明名称 VERFAHREN ZUM REINIGEN VON SILICIUM
摘要
申请公布号 DE2722783(A1) 申请公布日期 1978.11.30
申请号 DE19772722783 申请日期 1977.05.20
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 RATH,HEINZ-JOERG,DIPL.-CHEM.DR.;SIRTL,ERHARD,DIPL.-CHEM.DR.;PFEIFFER,WALDEMAR
分类号 B01D11/02;C01B33/02;C01B33/037;H01L21/208;H01L31/04;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 B01D11/02
代理机构 代理人
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