| 发明名称 |
MEASURING APPARATUS FOR THERMAL DEFORMATIONS OF LARGE SIZE WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53136885(A) |
申请公布日期 |
1978.11.29 |
| 申请号 |
JP19770050678 |
申请日期 |
1977.05.04 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
WATANABE NOBORU;OGISO KEN;YAMAGUCHI YOSHIE |
| 分类号 |
G01N25/16;G01B5/00;G01B5/28;G01B5/30;G01B7/06;G01B7/16;G01N25/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N25/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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