| 发明名称 |
ION BEAM BOMBARDMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53136799(A) |
申请公布日期 |
1978.11.29 |
| 申请号 |
JP19780031164 |
申请日期 |
1978.03.20 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
CHIYAARUZU EMU MAKENA;UORUFUGANGU EFU MIYUURAA |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/02;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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