发明名称 METHOD OF PRODUCING MESA AND THREEDIMENSIONAL SEMICONDUCTOR STRUCTURES WITH LOCALLY NON-UNIFORM COMPOSITION AND DEVICE FOR REALIZING SAME
摘要
申请公布号 GB1533645(A) 申请公布日期 1978.11.29
申请号 GB19760046215 申请日期 1976.11.05
申请人 G NI I P I REDKOMETALLICH PROMY 发明人
分类号 C30B25/04;C30B25/22;H01L21/205;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/36;C01B19/00;C01B25/08;C01B27/00;C01B33/02 主分类号 C30B25/04
代理机构 代理人
主权项
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