发明名称 MOS SEMICONDUCTOR ELEMENT OF HIGH DIELECTRIC STRENGHT
摘要
申请公布号 JPS53136489(A) 申请公布日期 1978.11.29
申请号 JP19770050719 申请日期 1977.05.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMIZU SHINJI
分类号 H01L27/088;G11C17/00;H01L21/8234;H01L27/04;H01L29/40;H01L29/417;H01L29/78 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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