沈积设备

摘要

实现一种能够增进有机电致发光元件之生产量的真空沈积设备。一第一管连接至一用以蒸发一有机电致发光材料的沈积源，以及二第二管导向二个包括有基板及遮罩的薄膜沈积目标物，而使其得以形成一有机沈积薄膜。蒸气系自该沈积源同时释放至该等位在不同平面上的多个薄膜沈积目标物上，以沈积出薄膜，此可有助于缩短薄膜沈积的时间及设备的小型化。