发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SUBSTANCE
摘要
申请公布号 JPS53135291(A) 申请公布日期 1978.11.25
申请号 JP19770050208 申请日期 1977.04.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAGANO KAZUTOSHI;KARIMOTO HIROYASU;NAKASHIMA TATSUNORI;KAJIWARA KOUSEI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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