| 摘要 |
本发明旨在提供一种质量流量控制器,该质量流量控制器在不牺牲相对于流量设定値变化之跟踪速度之前提下,即使发生压力变动亦可抑制流量变动,而可采用于可能发生串扰等扰动之系统。本发明之质量流量控制器包含:控制部5,由一既定算式计算流量控制阀之开度控制讯号并加以输出,该既定算式至少包含有作为参数之流量测定値与流量设定値;及压力感测部4,侦测流量感测部2之上游侧或下游侧之流体之压力,输出表示此压力値之压力侦测讯号;且该控制部5之该算式于下列期间内互不相同:自该流量设定値发生超过既定量以上之变化之时点起的既定期间即变化期间,与除此外之期间即稳定期间;至少于该稳定期间,作为该算式之参数,更包含有该压力値。 |
