发明名称 METHOD OF FORMING COSIX
摘要 <p>Method of Forming Cosix</p>
申请公布号 SG141216(A1) 申请公布日期 2008.04.28
申请号 SG20030057486 申请日期 2003.09.29
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 AN-CHUN TU;JENN-MING HUANG
分类号 H01L21/3205;H01L21/324;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/44;H01L21/28;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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