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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD133009(A1) 申请公布日期 1978.11.22
申请号 DD19770200915 申请日期 1977.09.07
申请人 KRAUSE,MICHAEL,DD;RIEPEL,GEORG,DD 发明人 KRAUSE,MICHAEL,DD;RIEPEL,GEORG,DD
分类号 H01L21/302;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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