发明名称 PHOTO ECTHING METHOD
摘要 PURPOSE:To ensure the necessary display on the substrate surface by providing a cut-hole at the prescribed area on the back plate which holds the mask and then giving an exposure after inserting the mark displaying mask.
申请公布号 JPS53133375(A) 申请公布日期 1978.11.21
申请号 JP19770049222 申请日期 1977.04.27
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SUGA HIROSHI
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
地址