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发明名称
PHOTO ECTHING METHOD
摘要
PURPOSE:To ensure the necessary display on the substrate surface by providing a cut-hole at the prescribed area on the back plate which holds the mask and then giving an exposure after inserting the mark displaying mask.
申请公布号
JPS53133375(A)
申请公布日期
1978.11.21
申请号
JP19770049222
申请日期
1977.04.27
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
SUGA HIROSHI
分类号
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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