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发明名称
FORMING FILMS ON SEMICONDUCTOR SURFACES WITH METAL-SILICA SOLUTION
摘要
申请公布号
US4126713(A)
申请公布日期
1978.11.21
申请号
US19760741793
申请日期
1976.11.15
申请人
TRW INC.
发明人
DIBUGNARA, RAYMOND
分类号
C30B31/02;H01L21/22;H01L29/167;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
C30B31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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