发明名称 BOAT FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS53133368(A) 申请公布日期 1978.11.21
申请号 JP19770049149 申请日期 1977.04.27
申请人 OMRON TATEISI ELECTRONICS CO 发明人 SHIMURA MIKIHIKO
分类号 C30B19/06;H01L21/208;H01L21/68 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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