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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS53133380(A) 申请公布日期 1978.11.21
申请号 JP19770048807 申请日期 1977.04.27
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMAGUCHI KAZUO
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/322;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/74;H01L29/744;H01L29/861 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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