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发明名称
摘要
申请公布号 JPS53147660(U) 申请公布日期 1978.11.20
申请号 JP19770052835U 申请日期 1977.04.26
申请人 发明人
分类号 G01R33/02;G01R33/09;H01L41/113;H01L43/02;(IPC1-7):H01L43/02 主分类号 G01R33/02
代理机构 代理人
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