发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS53131776(A) 申请公布日期 1978.11.16
申请号 JP19780045807 申请日期 1978.04.18
申请人 SIEMENS AG 发明人 HAINTSU SHIYURUTE
分类号 H01L21/28;H01L29/417;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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