固持装置及固持方法

摘要

本发明涉及一固持装置。该固持装置包括具有空腔之承载装置与吸气装置。该承载装置包括承载部。该承载部开设有复数与空腔相连通之通孔，以使待加工工件覆盖通孔时待加工工件与承载装置配合形成封闭空腔。该吸气装置与承载装置之空腔相连通，用于抽取承载装置空腔内之气体。本发明还涉及该固持装置固持待加工工件之方法。