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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53131765(A) 申请公布日期 1978.11.16
申请号 JP19770046553 申请日期 1977.04.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SASAKI HIROO;KAMIOKA HAJIME;FUJINUMA AKIRA;AKAI YOSHIO;TAKAGI MIKIO
分类号 H01L21/74;H01L21/205 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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