发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS53130989(A) 申请公布日期 1978.11.15
申请号 JP19770046168 申请日期 1977.04.20
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SUZUKI YOSHIAKI
分类号 H01L21/76;H01L21/331;H01L27/04;H01L29/417;H01L29/73 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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