| 发明名称 |
METHOD OF AND DEVICE FOR DOPING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53130975(A) |
申请公布日期 |
1978.11.15 |
| 申请号 |
JP19780030478 |
申请日期 |
1978.03.16 |
| 申请人 |
ANVAR |
发明人 |
JIN KUROUDO MIYURAA;JIN PIERU PINPON;JIESEFU KURETSUKU;PAURU SHIFUAATO |
| 分类号 |
C30B31/22;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C30B31/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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