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发明名称 PELLET SUCTION NOZZLE
摘要
申请公布号 JPS53129962(A) 申请公布日期 1978.11.13
申请号 JP19770044455 申请日期 1977.04.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 IKEDA YASUHIKO;OGURO YOUICHI
分类号 H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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