| 摘要 |
리소그래피 공정에서 반도체 웨이퍼들과 같은 제품 유닛들이 리소그래피 패터닝 작업들 그리고 화학적 및 물리적 처리 작업들을 거친다. 각각의 웨이퍼에 걸쳐 공간적으로 분포되는 지점들에서 측정된 위치 편차 또는 다른 파라미터들을 나타내는 객체 데이터를 얻기 위해, 정렬 데이터 또는 다른 측정들이 상기 공정의 수행 동안 스테이지들에서 만들어진다. 이 객체 데이터는 다변량 분석을 수행함으로써 진단 정보를 얻어, 다차원 공간에 웨이퍼들을 나타내는 상기 벡터들의 세트를 하나 이상의 성분 벡터들로 분해하는 데 사용된다. 산업 공정에 관한 진단 정보는 상기 성분 벡터들을 이용함으로써 추출된다. 추출된 진단 정보에 기초하여 후속 제품 유닛들에 대한 산업 공정의 성능이 제어될 수 있다. |
