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发明名称
SURFACE LAPPING MACHINE
摘要
PURPOSE:To correct the lapping surface of a lap as the surface of a work is processed without being hurt, by sepately driving the lap, work, and a correction wheel.
申请公布号
JPS53129399(A)
申请公布日期
1978.11.11
申请号
JP19770044068
申请日期
1977.04.19
申请人
发明人
分类号
B24B53/017;H01L21/304
主分类号
B24B53/017
代理机构
代理人
主权项
地址
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