发明名称 SURFACE LAPPING MACHINE
摘要 PURPOSE:To correct the lapping surface of a lap as the surface of a work is processed without being hurt, by sepately driving the lap, work, and a correction wheel.
申请公布号 JPS53129399(A) 申请公布日期 1978.11.11
申请号 JP19770044068 申请日期 1977.04.19
申请人 发明人
分类号 B24B53/017;H01L21/304 主分类号 B24B53/017
代理机构 代理人
主权项
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