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发明名称 VERFAHREN ZUR ENTWICKLUNG EINER MIT FOTOAETZGRUND BEDECKTEN FLAECHE
摘要
申请公布号 DE2817256(A1) 申请公布日期 1978.11.09
申请号 DE19782817256 申请日期 1978.04.20
申请人 ALLIED CHEMICAL CORP. 发明人 VANDER MEY,JOHN E.;R. SCHEVEY,WILLIAM;W. ANDERSON,ROLAND
分类号 H01L21/30;G03F7/30;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03FX/ 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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